2027深圳国际电子气体展览会

在新一轮科技革命与产业变革的浪潮中，电子气体作为半导体制造、显示面板及光伏产业不可或缺的“血液”与“粮食”，其纯度、稳定性及供应链安全直接关乎中国电子信息产业的核心竞争力。2027年，正值粤港澳大湾区电子信息产业集群向全球价值链高端迈进的关键节点，深圳国际电子气体展览会应运而生，旨在搭建一个聚焦前沿技术、深化产业链协同、赋能新质生产力发展的国际化专业平台。

当前，随着人工智能、5G通信、新能源汽车等新兴领域的爆发式增长，芯片制程不断微缩，对特种电子气体的需求呈现出高精度、多样化及定制化的新趋势。从蚀刻、清洗到沉积、掺杂，每一道工序都对气体材料提出了近乎极致的要求。本届展会立足深圳这一全球电子产业创新高地，依托大湾区完备的集成电路与新型显示产业链生态，汇聚全球领先的电子气体生产商、提纯技术专家、检测认证机构及下游应用巨头，共同探讨国产替代进程中的技术突破与供应链韧性构建。

2027深圳国际电子气体展览会不仅是一次行业成果的集中展示，更是一场关于技术创新与产业融合的深度对话。我们将通过实景展示高纯电子特气、前驱体材料及配套输送系统，举办多场高水平技术论坛，精准对接供需双方，破解行业痛点，推动产学研用深度融合。在这里，见证中国电子气体产业从“跟随”到“并行”乃至“引领”的跨越，共筑安全、稳定、高效的产业生态圈，为打造世界级电子信息产业集群注入强劲动能。

诚邀全球行业同仁齐聚鹏城，共探气体技术新边界，共谋产业发展新篇章，携手开启电子材料领域的绿色、智能、高质量发展新征程。

电子大宗气体

氮气、氦气、氧气、氩气、氢气和二氧化碳等

电子气体

（1）掺杂气体： 三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等；

（2）蚀刻清洗气体： 氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等；

（3）反应气体： 二氧化碳、氨、氧化亚氮等；

（4）沉积气体： 六氟化钨、三甲基镓等；

（5）光刻气体： 氟化氩、氟化氪等；

（6）半导体电子特气： 超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合气等；

（7）惰性气体： 氦、氖、氩、氪、氙、氡、气奥等；

电子特种气体

笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷气体、还原性气体、氧化性气体等；

制备工艺、装备与流体系统

    高纯电子气体纯化技术、气体合成、电解技术、电解电源、净化技术、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检 测、气瓶与压力容器、气体分离设备、纯化设备、精密过滤器、气体洁净充装技术、高纯输送系统、高纯混合气体配制系统等；

气体储罐、特气管道、阀门调压组件、气体质量流量控制器、气体泄漏监测、尾气处理设备等；
特气充装、运输、运维服务，厂区特气整体配套设计与一体化解决方案等。